МЭМС-зеркала с пьезоэлектрическим приводом:
1-осевые микросканеры- Диаметр 1…2 мм
- Рабочая частота 16…60 кГц
- Оптический угол развертки до 106°
- Низкое рабочее напряжение
- Низкое энергопотребление
2-осевые микросканеры- Диаметр 1…7 мм
- Рабочая частота 10 Гц…29 кГц
- Оптический угол развертки до 32°
- Низкое рабочее напряжение
- Низкое энергопотребление
Сферы применения:
- Лазерные проекции
- Приборные панели на ветровом стекле
- Лазерная сканирующая микроскопия с общим фокусом
- Поворотное сканирование
- Преобразователи Фурье для ИК-спектроскопии
- Принтеры
МЭМС-зеркала с электростатическим приводом:
1-осевые микросканеры- Герметичная упаковка
- Рабочая частота 1,6 кГц
- Оптический угол развертки >40°
- Диаметр 2 мм
- 2-осевые микросканеры
- Герметичная упаковка
Рабочая частота > 500 Гц (по оси наименьшей скорости распространения света), > 17 кГц (по оси наибольшей скорости распространения света)- Оптический угол развертки >40°
- Диаметр 1 мм
- 2-осевые микросканеры
- Герметичная упаковка
- Рабочая частота 10 Гц … 20 кГц
- Оптический угол развертки >30°
- Диаметр 1,1 мм
Сферы применения:
- Головные дисплеи (дисплеи-очки)
- Распознавание жестов
- Индикация на лобовом стекле
- Мощные лазеры
- 3D камеры
- Автомобильные приборные панели
- Проецируемые виртуальные клавиатуры
- Инфракрасное изображение
- Автомобильные лидар-системы
- Лазерная растровая микроскопия с общим фокусом
- Дактилоскопические датчики
- Световые завесы
- Репрография
- Лазерные принтеры
- Оптическая когерентная томография
- Эндоскопия
- 3D дисплеи
