В октябре 2012 года состоялся второй ежегодный международный МЭМС-Форум, посвященный в этот раз вопросам моделирования, производства и тестирования устройств на основе микроэлектромеханических систем. На протяжении двух дней мероприятие объединяло более ста представителей элиты зарубежной и отечественной МЭМС-индустрии, включая разработчиков, производителей и потребителей сложнейших микроустройств.
Организатором Форума традиционно выступила «Русская Ассоциация МЭМС» при поддержке НИУ «Московский энергетический институт». Хронология событий, вопросы на повестке дня, мнения участников – обо всем этом в репортаже из мира высоких технологий.
День первый. «Проектирование и моделирование МЭМС-устройств, интегральных схем и систем»
Оживление возле стойки регистрации задолго до начала форума продемонстрировало высокий интерес участников к предложенным для рассмотрения темам. Неудивительно – ведь программа МЭМС-Форума тщательно разрабатывалась организаторами на основе анализа анкет с предыдущего мероприятия. Учитывались мнения и тех, кто в течение года сотрудничал с Ассоциацией, поднимая наиболее актуальные проблемы отечественной МЭМС-индустрии.
Оценить заинтересованность целевой аудитории представителям «РАМЭМС» удалось еще на этапе подготовки, когда количество заявок на участие в мероприятии превысило показатели прошлого года и приблизилось к ста. Не меньшую активность проявили и зарубежные партнеры Ассоциации, пожелав поделиться опытом с российскими коллегами. В результате в качестве спикеров выступили представители ведущих компаний и научно-исследовательских центров из Германии (в том числе расположенных в Кремниевой долине – центре европейской микроэлектроники), США, Нидерландов, Финляндии и др.
Стоит отметить, что география посетителей мероприятия также достаточно широка и включает Белоруссию, Украину, и многие регионы России: от европейской части, до Урала и Западной Сибири. Подобный охват территории достигнут впервые, однако, к началу Форума собрались практически все заявленные участники.
Торжественное открытие второго международного форума «Моделирование, производство, тестирование МЭМС-устройств» по традиции началось со вступительного слова Дениса Маратовича Урманова, исполнительного директора «Русской Ассоциации МЭМС». Поблагодарив присутствующих за доверие – многие из них уже не раз принимали участие в мероприятиях «РАМЭМС», – он подчеркнул главную особенность МЭМС-Форума 2012. «В этом году мы попытались в рамках одного мероприятия охватить полный цикл изготовления МЭМС-устройства: от моделирования микросистемы, начинающегося с выбора заготовки из библиотеки моделей, успешно зарекомендовавшего себя на мировом рынке чувствительного элемента МЭМС, до изготовления изделия МЭМС на базе имитированного и проверенного технологического процесса и его испытаний, как отдельно, так и в системе. Все эти этапы нашли отражение в названии нашего мероприятия, определив тем самым ключевые направления для обсуждения», - пояснил Д.М. Урманов.
Приветствие участников продолжил Никита Васильевич Скибицкий, проректор по научной работе Московского энергетического института, член президиума МЭМС-Форума 2012. Он отметил, что потребность в подобных мероприятиях обусловлена необходимостью кооперации с зарубежными специалистами, которая в свою очередь является фундаментом для дальнейшего развития микроэлектроники в России.
После завершения официальной части вниманию слушателей были представлены доклады, посвященные современным средствам проектирования МЭМС-устройств: от разработки производственного процесса до оптимизации системы. В качестве примера рассматривались гироскопы, акселерометры и резонаторы. Данные изделия выбраны не случайно – именно к ним, а также датчикам давления и переключателям был проявлен наибольший интерес на предыдущих мероприятиях Ассоциации.
В ходе выступлений были рассмотрены следующие темы:
- моделирование микроэлектромеханических устройств с использованием мощных программных инструментов и специальных библиотек модулей электромеханических, оптических, микрожидкостных, СВЧ и магнитомеханических компонентов, точность которых проверена лабораторными исследованиями;
- проектирование и анализ мультифизических взаимодействий, встречающихся в МЕМС-устройствах, посредством специального программного обеспечения;
- разработка послойных топологий и разнообразных 2D и 3D геометрических конструкций посредством специализированного программного обеспечения;
- создание структурных и принципиальных схем с использованием поведенческих моделей электромеханических устройств посредством специализированного программного обеспечения;
- демонстрация моделирования виртуальных прототипов МЭМС-акселерометров, гироскопов, датчиков давления и др.;
- пошаговая эмуляция процесса изготовления МЭМС посредством программных модулей.
Все доклады имели высокую практическую направленность и представляли собой сочетание уникальных знаний и готовых бизнес-решений, полученных ведущими мировыми специалистами на протяжении многолетней работы. Так, своим опытом в области высоких технологий поделились заместитель заведующего кафедры «Лазерных, измерительных и навигационных систем» Санкт-Петербургского государственного электротехнического университета «ЛЭТИ» им. В.И. Ульянова (Ленина), представители кафедры теоретической механики и мехатроники НИУ «Московский энергетический институт», инженер-проектировщик американской компании-разработчика и производителя программных средств для проектирования и моделирования чувствительных элементов МЭМС. Языковой барьер не стал преградой для участников форума, так как каждый доклад иностранного спикера дублировался на русский язык профессиональным переводчиком.
Насыщенная программа потребовала от участников немало сил и внимательности, что, однако, не повлияло на их активность. В связи со строгим временным регламентом членам президиума приходилось строго ограничивать количество вопросов после каждого доклада.
По сложившейся традиции в завершении первого раздела МЭМС-Форума организаторы подготовили специальную культурную программу для всех посетителей мероприятия, и в преддверии еще одного не менее насыщенного дня все желающие отправились на обзорную экскурсию по историческим местам Москвы.
День второй. «Различные аспекты изготовления и тестирования МЭМС-устройств, интегральных схем и систем»
Как уже говорилось выше, программа МЭМС-Форума 2012 была разработана таким образом, чтобы максимально полно осветить возможности новейших платформ для проектирования МЭМС, а также уделить должное внимание различным аспектам технологических процессов производства, включая литографию, травление, корпусирование и тестирование. Успешно справившись с первой частью, во второй день участники мероприятия рассмотрели доклады на такие темы, как:
- технологии изготовления МЭМС (литография, глубокое травление, корпусирование МЭМС, характеризация высокоточных систем и др.);
- методы испытаний микросистем, а также проектирование испытаний систем, основанных на чувствительных элементах МЭМС;
- тенденции развития производства современных изделий МЭМС в России; концепция по развитию производства МЭМС-изделий в России на период до 2017 года.
Среди докладчиков присутствовали члены крупнейшей европейской Ассоциации предприятий электронной и микросистемной индустрии Silicon Saxony e.v. (Германия) – многие из них уже не раз делились опытом с российской аудиторией на других мероприятиях «РАМЭМС». Однако некоторые, например, представители компаний, специализирующихся на корпусировании и плазменной очистке, выступили перед коллегами из России впервые.
Участникам МЭМС-Форума была предложена как совместная работа, направленная на выполнение различных производственных задач, основанная на непрерывном взаимодействии и кооперации, так и уже готовые решения. Например, тестовая система FT-17HF для параметрического и функционального контроля ИМС широкой номенклатуры. Данное оборудование появилось на рынке сравнительно недавно (официальная презентация тестера состоялась в апреле этого года), но уже сегодня отмечен целый ряд преимуществ, позволяющих системе составить достойную конкуренцию существующим аналогам.
С появлением новых зарубежных спикеров атмосфера мероприятия стала еще более оживленной. Многочисленные вопросы, возникавшие во время выступлений, переместились в кулуары и заняли собой все время, предусмотренное для перерывов.
Немалый интерес вызвали и появившиеся во второй день стенды с образцами, благодаря которым участники Форума своими глазами смогли увидеть то, о чем говорили докладчики. Например, варианты корпусирования нового поколения изделий на основе микроэлектромеханических систем или же последние МЭМС-устройства и др.
Говоря о результатах мероприятия, исполнительный директор «Русской Ассоциации МЭМС» представил результаты открытого обсуждения «Концепции по развитию производства МЭМС-изделий в России на период до 2017г.». Данная Концепция разрабатывалась путем практических проб и ошибок в течение нескольких лет, и является плодом кропотливой работы Ассоциации и ее партнеров, основанной на анализе современных рыночных реалий и перспектив развития российского и зарубежного МЭМС-рынка в ближайшем будущем.
«Главной задачей поэтапной реализации Концепции является создание в России полноценного цикла серийного производства МЭМС, начиная от моделирования прототипов и заканчивая испытанием готовых изделий. А такие мероприятия, как МЭМС-Форум, помогают нам приближаться к данной цели», - подытожил Денис Маратович Урманов в завершении второго международного МЭМС-Форума.
Представители МЭМС-индустрии о Форуме:
С.В. Серебрянников, ректор НИУ «Московский энергетический институт»:«Проведение подобных мероприятий способствует успешному развитию научного потенциала отечественных исследователей в области разработок новых перспективных микроэлектромеханических систем, а также налаживанию научных связей с ведущими зарубежными компаниями и университетами. Надеемся на дальнейшее тесное сотрудничество и взаимодействие».
А.А. Бебяков, инженер-исследователь ОАО «Ульяновское конструкторское бюро приборостроения»: «Все прошло на высоте! Отличный Форум, великолепная организация, прекрасная атмосфера. Спасибо!»
Герман Марш, спикер МЭМС-Форума 2012, Германия: «Выражаю благодарность «Русской Ассоциации МЭМС» за профессиональный подход в организации МЭМС-Форума. Мне, как докладчику, было крайне приятно получить хорошую оценку аудитории, видеть ее заинтересованность в нашей работе. Хотелось бы пожелать, чтобы Ассоциация чаще организовывала подобные мероприятия».
Делегация от Silicon Saxony e.v., Германия: «Мы остались очень довольны МЭМС-Форумом. В следующем году представители группы компаний от нашей Ассоциации, несомненно, посетят мероприятие снова».
«Русская Ассоциация МЭМС» выражает благодарность НИУ «Московский энергетический институт» за помощь в организации и проведении мероприятия, отраслевым СМИ, оказавшим информационную поддержку, а также всем участникам форума и надеется в следующем году увидеть всех на третьем международном МЭМС-Форуме.
Дополнительная информация:
НИУ «Московский энергетический институт»
Московский энергетический институт – один из крупнейших технических университетов России в области энергетики, электротехники, электроники, информатики. Располагает современными учебными корпусами, учебными и научными лабораториями, общежитиями, мощной экспериментальной базой, опытным заводом, учебно-научной теплостанцией, учебно-научным телецентром, мощной сетью довузовской подготовки и послевузовского образования. Оснащен современным технологическим оборудованием, парком мощных, средних и персональных ЭВМ (более 1700 комплектов). Готовит инженерные и научные кадры для иностранных государств начиная с 1946 года, в настоящее время в МЭИ обучаются студенты и аспиранты из 68 стран мира. За успехи в подготовке высоко профессиональных специалистов награжден двумя орденами России и шестью орденами зарубежных государств.
«Русская Ассоциация разработчиков, производителей и потребителей микроэлектромеханических систем»
«Русская Ассоциация МЭМС» была образована в 2010 году решением заинтересованных представителей отечественной МЭМС-индустрии по итогам конференции «Современные тенденции и технологии производства МЭМС-устройств». Основная цель Ассоциации – объединить предприятия и организации, осуществляющие разработку, производство и потребление микроэлектромеханических систем, чтобы создать единое информационное пространство по тематике МЭМС и обеспечить эффективный информационный обмен как с внутренними (члены Ассоциации), так и с внешними партнерами Ассоциации (российские и зарубежные ассоциации, научно-исследовательские организации, общественные объединения и др.). В конечном итоге это должно способствовать увеличению объемов разработки и производства МЭМС в России и появлению на их основе новых изделий, предназначенных для конечного потребителя.
