15-16 июня 2015 года на базе «Межведомственного центра по производству и разработке ЭКБ», г. Нижний Новгород, состоялся V ежегодный МЭМС-Форум, посвященный разработке, производству, тестированию и стандартизации МЭМС. Организатором Форума выступила «Русская Ассоциация МЭМС».
МЭМС-Форум за свою пусть и небольшую историю успел приобрести статус конференции международного уровня, которая ежегодно становится ведущим событием по тематике микросистем в России и странах СНГ. Первый Форум был проведен в 2011 году в Москве как пробное мероприятие по проблематике микросистем для российской аудитории. Сегодня МЭМС-Форум отличается широтой охвата рассматриваемых тем, научной информативностью и серьезной практической направленностью. При этом высокий уровень конференции обеспечивается благодаря участию в ней ведущих мировых и отечественных специалистов микросистемной индустрии.
Организатор Форума – «Русская Ассоциация МЭМС» - реализует стратегию проведения международных конференций по микросистемам в крупных промышленных центрах России. Первым шагом в этом направлении стал IV «МЭМС-Форум – 2014» в Казани. Юбилейный пятый МЭМС-Форум был проведён в Нижнем Новгороде, где расположена одна из самых наукоемких и высокотехнологичных российских организаций – Межведомственный центр (МВЦ) по разработке и производству ЭКБ на базе ФГУП «ФНПЦ НИИ измерительных систем им. Ю.Е. Седакова» (НИИИС). Здесь уже несколько лет успешно ведутся работы по технологиям микроэлектроники, а также производятся различные МЭМС-изделия. Многолетний опыт МВЦ в сфере МЭМС и партнёрские взаимоотношения с РАМЭМС позволили организовать «МЭМС-Форум – 2015» на базе этого предприятия с проведением экскурсии по лабораториям и производственным корпусам Межведомственного центра. Научно-производственная база МВЦ включает в себя дизайн-центр цифровых и аналоговых СБИС, производство кристаллов субмикронных СБИС, лабораторию аналитических исследований полупроводниковых соединений, участки сборки СБИС.
Программа «МЭМС-Форума – 2015» была разбита на два дня с несколькими сессиями. В рамках конференции рассматривались различные микросистемные технологии и устройства с точки зрения их разработки, производства, тестирования, стандартизации и применения. Ещё одной особенностью Форума стал тот факт, что доклады были соотнесены по основным блокам работ, связанным с разработкой и производством МЭМС. В первый день по темам, выбранным спикерами, были представлены презентации о том, какая работа по данным направлениям ведется сейчас в России и за рубежом. С докладами выступили представители как отечественных предприятий – ООО «Совтест АТЕ», ООО «Би Питрон», Межведомственный центр (МВЦ) по разработке и производству ЭКБ, АО «РНИИ «Электронстандарт», ФГАО УВО «МИЭТ» и др, - так и зарубежных компаний и институтов: Fraunhofer (Германия), Alchimer (Франция), Picosun Oy (Финляндия), Maicom Quarz (Германия).
В первый день Форума докладчиками были рассмотрены следующие темы:
• Сенсорная сеть, ее технология и применение;
• Проектирование, технология и применение оптических настраиваемых фильтров;
• Методы разработки микроэлектромеханических устройств с помощью OOFELIE::Multiphysics;
• Глубокое анизотропное травление кремния и сращивание пластин при производстве МЭМС. Технология BDRIE;
• Производственный участок для изготовления изделий МСТ в МВЦ по разработке и производству радиационностойкой электронно-компонентной базы;
• МЭМС-устройства лаборатории НМСТ СПбПУ;
• Принципы взаимодействия разработчика и изготовителя при разработке изделий МСТ;
• Современные тенденции в технологиях производства МЭМС;
• Интеграция электрохимическипривитых слоев для металлизации глубоких межсоединений в кремнии при сборке МЭМС-изделий;
• Новые нормативные документы, регламентирующие процессы производства, испытаний и применения изделий микросистемной техники;
• Технология атомно-слоевого осаждения (АСО) компании Picosun и ее использование при производстве изделий микроэлектроники и МЭМС;
• Импортозамещение в сфере микронаносистемной техники на российском рынке;
• Создание интеллектуальных систем на базе МЭМС. Разработка, производство, сбыт;
• Опыт создания центра разработки интеллектуальных устройств на базе МЭМС. Взаимодействие Науки, Образования и Бизнеса.
Насыщенная научная программа первого дня МЭМС-Форума была увенчана увлекательной обзорной экскурсией по Нижнему Новгороду и прогулкой на комфортабельном теплоходе по реке Волге. Участники конференции посетили основные исторические достопримечательности, архитектурные памятники и памятники культурного наследия Нижнего Новгорода. Живописные виды на Нижегородский Кремль, главные набережные города и Собор Александра Невского создали участникам МЭМС-Форума благоприятную атмосферу для отдыха и продолжения диалога на интересующие их темы в обстановке неформального общения.
Во второй день Форума был организован круглый стол на тему «Коммерциализация разработок в области нано- и микроэлектроники». Участники обсудили зарубежный опыт коммерциализации разработок, опыт работы лидеров рынка микроэлектроники на российском рынке и с российскими разработчиками, инициативы РосНано в области нано- и микроэлектроники, опыт коммерциализации разработок в «Сколково», передовые научные разработки и рыночные перспективы для разработчиков в России. Участие в дискуссии приняли: Др-р Штеффен Курт, руководитель группы общества Fraunhofer Institute for Electronic Nano Systems (Германия); представитель ФИОП «Роснано» Вениамин Стахин, руководитель дизайн-центра микроэлектроники «Зеленоградского Нано-Технологического Центра»; представитель компании-участника проекта «Сколково» Андрей Смолянинов, Генеральный директор ООО «Фотонные Нано-Мета- Технологии».
Руководитель проектов Кластера ядерных технологий Фонда «Сколково» Владимир Туртиков представил перед участниками Форума возможности и опыт Сколково по поддержке и коммерциализации инновационных проектов. «Сколково активно поддерживает высокотехнологические проекты индустриальной направленности, в частности, производственные технологии микроэлектроники и МЭМС, являются одним из технологических приоритетов Кластера ядерных технологий, а представленный на Форуме высокий технологический уровень разработок, их направленность на решение проблем рынка и квалификация разработчиков, позволяет надеяться, что в Сколково появятся новые проекты по МЭМС тематике», - отметил Владимир Туртиков.
Оценивая рыночные перспективы для разработчиков в России, организатор МЭМС-Форума, Исполнительный директор «Русской Ассоциации МЭМС» Денис Урманов отметил: «В настоящее время новые технологии и продукты в сфере МЭМС особенно актуальны для России. Интерес к микросистемам в нашей стране объясняется тем, что их можно использовать для широкого круга приложений. Универсальность МЭМС позволяет применять их в качестве самостоятельных изделий или в составе более сложных инженерных систем».
По завершению круглого стола участники Форума продолжили делиться своим опытом в рамках представленных ими докладов. Во второй день докладчиками были затронуты следующие темы:
• Анизотропные магниторезистивные сенсоры (АМР-сенсоры) для систем автоматики и управления;
• Первичный терморезистивный преобразователь скорости потока газа мембран-ного типа для систем учета и контроля;
• Возможности сотрудничества в области НИОКР и опытного производства при использовании возможностей немецких MEMS;
• Методы и средства исследований динамических характеристик инерциальных микромеханических датчиков и модулей. Разработка и их практическая реализация;
• Комплект специализированных микросхем для современных магнитных датчиков положения.
Подведение итогов Форума по традиции прошло в форме открытого обсуждения, участники охотно делились впечатлениями о мероприятии, благодарили спикеров за ин-формационно насыщенные доклады и организаторов Форума за возможность не просто обсудить важные темы развития МЭМС-технологий, но и выступить перед аудиторией, выслушать мнения коллег, тем самым непосредственно получить обратную связь. Во время конференции устанавливались новые бизнес-контакты, зарождались новые проекты и перспективы сотрудничества между участниками МЭМС-Форума, что является главной целью подобных мероприятий.
Приятной традицией МЭМС-Форума становится награждение лучшего спикера. В этом году, по итогам голосования, награда за лучший доклад была присуждена Алексею Казакину, научному сотруднику НИЛ Нано- и Микросистемной Техники Санкт-Петербургского Политехнического Университета.
Также в рамках Форума состоялось традиционное мероприятие «Счастливый участник», в ходе которого случайным образом была выбрана анкета победителя. В этом году обладателем приза стал Свищев Е.А., заместитель главного инженера ООО «Драйвер».
Таким образом, свой пятилетний юбилей МЭМС-Форум отметил в атмосфере конструктивного и увлекательного диалога, в ходе которого спикеры делились с аудиторией своими достижениями в области МЭМС-технологий, уникальным опытом их использования в широком спектре применения, обсуждали с коллегами уровень развития рынка МЭМС в мире и намечали путь его прогресса.
«Русская Ассоциация МЭМС» выражает благодарность генеральному спонсору ООО «Совтест АТЕ», соорганизатору «Межведомственный центр по производству и разработке ЭКБ» и официальным зарубежным партнёрам за помощь в проведении мероприятия, отраслевым СМИ за рекламную поддержку, а также всем участникам и докладчикам Форума и приглашает всех в следующем году на VI Международный МЭМС-Форум, местом проведения которого выбрана площадка Южного Федерального Университета в г. Таганрог.
?????????????????????????????
