В июне 2014 года в городе Казань состоялся четвертый ежегодный МЭМС-форум, посвященный разработке, производству и применению МЭМС-устройств, а также перспективам развития российского рынка МЭМС. Мероприятие традиционно было организовано «Русской Ассоциацией МЭМС» при поддержке генерального партнера – компании «Совтест АТЕ», а также при участии Московского энергетического института (Россия), Ассоциации по микроэлектронике Silicon Saxony E.v. (Германия), Yole Development (Франция), Coventor (США), Silex Microsystems AB (Швеция) и Шанхайского Государственного Университета нано-, микроэнергии (Китай). Форум проходил в центре Казани – в деловом бизнес-центре «Ривьера» на протяжении двух дней. В нем приняло участие более 50 представителей российской и зарубежной МЭМС-индустрии, среди которых – ведущие разработчики и производители высокоточных микроустройств и электротехнического оборудования, крупнейшие предприятия, научно-исследовательские институты и потребители МЭМС.
День 1. Технологии разработки и производства МЭМС. Тестирование и испытание. Сферы применения.
Международный МЭМС-Форум является уникальным мировым событием, которое уже на протяжении нескольких лет проводится на интеллектуальной базе российских предприятий и университетов, лидирующих в области разработки и производства микросхем, и является крупнейшим мероприятием в сфере МЭМС на территории России и стран СНГ. Девиз форума – «МЭМС сегодня и завтра» – был выбран не случайно: участникам форума представилась возможность оценить текущий уровень развития микросистем, а так же заглянуть в ближайшее будущее.
Обширная география участников показала, что несмотря на текущую ситуацию на мировой политической арене, актуальность моделирования, производства и тестирования устройств на основе микроэлектромеханических систем остается неизменной. В этом году в рамках МЭМС-форума Казань посетили представители Германии, Франции, Бельгии и Финляндии, а также многих российских регионов: от центральной части до Сибири.
Традиционно открытие форума началось с приветственной речи Дениса Урманова, исполнительного директора «Русской Ассоциации МЭМС». «Принципиально новая концепция мероприятия – активный диалог выступающего с залом», - отметил Денис Маратович. Действительно, в этом году отличительной особенностью казанского МЭМС-форума стала возможность общения спикера со своей аудиторией – любой желающий мог задать интересующий его вопрос, высказать мнение по докладу или вступить в дискуссию. Эта возможность была тепло встречена участниками Форума, и жаркие дебаты после выступления порой не прекращались вплоть до перерывов. Кофе-брейки проходили продуктивно: за обсуждением очередного доклада устанавливались новые бизнес-контакты, обговаривались условия новых проектов и заключались новые контракты.
В течение первого дня Форума были освещены следующие темы:
- методики калибровки микромеханических датчиков в процессе изготовления гировертикали;
- мультифизическое моделирование в технологиях разработки инерциальных микродатчиков на поверхностных акустических волнах;
- снятие рабочих характеристик с МЭМС-устройств на уровне пластины;
- МЭМС для НИОКР и производства;
- технологическая эволюция комбинированных датчиков для потребителей;
- современные методы тестирования и испытаний ЭКБ;
- технология атомно-слоевого осаждения (АСО) для МЭМС применений;
- идентификация неизотропных и нелинейных свойств микромеханического вибрационного гироскопа;
- инновационные высокоточные микродатчики расхода на основе МЭМС;
- применение МЭМС в автомобильной промышленности в сотрудничестве с немецкими партнерами;
- возможность реализации проектов по использованию новых материалов и технологий МЭМС.
Специалисты российских и зарубежных компаний на протяжении всего дня рассказывали о своих достижениях в сфере микросистем, делились уникальным опытом их использования в широком спектре применения, обсуждали с коллегами уровень развития МЭМС-технологий в мире и пытались спрогнозировать их будущий прогресс. Прозвучавшие доклады представляли собой органичное сочетание научных исследований с практической направленностью, подкрепленные уникальными знаниями и опытом своих спикеров.
Закончился первый день конференции насыщенной культурной программой, которую открыла автобусная экскурсия по историческому центру Казани с посещением знаменитого Казанского Кремля. Путешествие сквозь века началось у ворот жемчужины Казани – мечети Кул Шариф. Также участникам Форума посчастливилось посетить Благовещенский собор, падающую башню Сююмбике, Дом Правительства, Президентский дворец и, наконец, Башню Казанского Кремля. По завершению экскурсии, участники совершили увлекательную прогулку по живописной Волге на просторном двухэтажном лайнере.
День 2. Сферы применения МЭМС (наземные, аэрокосмические, водные). Моделирование МЭМС, инфраструктура, применение. Прогноз развития направления на период до 2020 года.
Одной из особенностей МЭМС-форума в 2014 году стала возможность одновременно раскрывать темы с точки зрения технологий разработки и производства микросистемной техники, тестирования и испытания изделий, различных сфер применения МЭМС (суша, вода, воздух, космос) и прогноза развития микросистем до 2020 года. Это позволило сформировать темы докладов таким образом, что спикеры в своих выступлениях застрагивали все основные области в МЭМС-технологиях. Так, во время второго, заключительного дня участникам мероприятия были представлены доклады по следующим темам:
- высокоточные инклинометры на основе МЭМС и высокоточные переключатели на основе МЭМС с низким энергопотреблением для системы мониторинга линии высокого напряжения;
- программный комплекс OOFELIE::Multiphysics для проектирования высокопрочных микросистем;
- особенности инфраструктуры для разработки и производства МЭМС;
- технологии МЭМС для настраиваемых ИК фильтров и их применение;
- дорожная карта развития МЭМС в РФ до 2020 г.;
- монтаж кристаллов. 3D-корпусирование и TSV;
- технологические аспекты изготовления инерциальных датчиков движения с использованием процессов глубокого анизотропного травления кремния;
- организация сектора испытаний МЭМС и измерений характеристик акселерометра;
- новые направления и перспективы развития МЭМС.
Продолжая заявленную тенденцию диалога с аудиторией, подведение итогов форума состоялось в форме открытого обсуждения: участники охотно делились впечатлениями о мероприятии, произносили речи и слова благодарности, обсуждали тему и место проведения МЭМС-форума 2015.
Еще одним приятным сюрпризом стало введение награды «Best Paper Award» за лучший доклад. По итогам голосования, победителем в этой номинации был признан Александр Кукаев, аспирант ЛЭТИ за уникальный двуязычный доклад о мультифизическом моделировании. Также в рамках Форума прошел традиционный розыгрыш «Счастливый участник», в ходе которого случайным образом была выбрана анкета победителя. В этом году обладателем приза стал Константин Прилипко, главный редактор отраслевого журнала «Технологии в электронной промышленности».
МНЕНИЕ ПРЕДСТАВИТЕЛЕЙ МЭМС-ИНДУСТРИИ О ФОРУМЕ:
Дмитрий Соложенцев, начальник научно-исследовательской лаборатории ФГУП "ВНИИА": «На форуме было представлено большое количество новой и полезной информации по разработке МЭМС-технологий, тенденциям развития, работам зарубежных коллег, что представляет для меня интерес как для потребителя».
Александр Кукаев, аспирант ЛЭТИ: «Это мой первый МЭМС-форум, так что сравнить с предыдущими не имею возможности. В целом мероприятие понравилось. Отметил бы какую-то присущую этому Форуму уникальную атмосферу свободного общения и равенства всех участников независимо от позиции и представляемой компании. Приятно было также, что к мероприятию были подключены ведущие компании, такие как Bosch, Yole Development, Coventor и некоторые другие».
Свен Фойгт, инженер Fraunhofer ENAS: «МЭМС-форум – уникальная возможность представить свою тему специализированной аудитории и найти отклик. Кроме того, хотелось бы отметить культурную программу – она была просто замечательная: великолепный город, красивая река… Супер!»
Владимир Лянзбург, начальник отдела ОАО "НПЦ Полюс": «Хорошая организация Форума, отличная культурная программа. Главное пожелание – чтобы данное мероприятие состоялось и в следующем году!»
«Русская Ассоциация МЭМС» выражает благодарность генеральному спонсору ООО «Совтест АТЕ» и официальным зарубежным партнерам за помощь в проведении мероприятия, отраслевым СМИ за рекламную поддержку, а также всем участникам и докладчикам Форума и надеется увидеть всех в следующем году на V Международном МЭМС-форуме.
