First Sensor представляет инновационную технологическую платформу для производства высокоточных инерциальных датчиков для геоинжиниринга, мониторинга состояния или навигационного применения. При необходимости МЭМС-датчики можно гибко подстраивать под индивидуальные требования заказчика исходя из сферы применения.
Инклинометры
Емкостные инклинометры основаны на монокристаллических чувствительных элементах, которые изготавливаются по современной технологии микрообработки для достижения большего соотношения сигнал/шум и обеспечивают превосходную стабильность при изменении температуры. Таким образом, эти датчики чувствительны к малейшим изменениям наклона.
Благодаря микроструктурам с высоким аспектным отношением датчики характеризует ультранизкая чувствительность по поперечной оси. Кроме того, запатентованная технология AIM (Air gap Insulated Microstructures) минимизирует паразитную емкость.
Оценочные платы
Доступны различные оценочные платы для простой и удобной технической апробации.
Загрузки
PDF-Flyer: MEMS inertial sensors
