Организация научно-исследовательских и опытно-конструкторских работ (НИОКР) по МЭМС

Основным отличием стадии НИОКР по МЭМС от процесса массового производства является необходимость разработки и изготовления небольших опытных партий, прототипов МЭМС. Данная часть любого нового проекта очень чувствительна к его «стартовой цене». Большую часть в ней составляют затраты на обработку заказа, трудозатраты и стоимость работы оборудования. Для уменьшения цены начального этапа разработки применяется объединение на одной пластине различных типов механических элементов МЭМС. Такие пластины называют мультивафлями.

Применение указанного способа производства прототипов МЭМС позволяет существенно снизить «стартовые затраты» в ходе реализации каких-либо НИОКР. Пример показан на рис. 1. Слева обычная вафля со множеством одинаковых структур, повторяемых как в пределах одной ячейки, так и на вафле. Справа мультивафля, в которой на пластине размещены различные ячейки от разных заказчиков. В одну ячейку тоже могут быть помещены различные структуры. Ими могут быть датчики ускорения, гироскопы, микрозеркала, актюаторы, различные тестовые структуры. Технология изготовления одинаковая, но форма структур, принцип их действия, назначение – различны.

mems_0_1

РИС. 1: ОТЛИЧИЕ МУЛЬТИВАФЛИ ОТ ОБЫЧНОЙ ВАФЛИ

В настоящее время на российском рынке присутствует серьезный интерес к изготовлению МЭМС российской разработки на базе европейских фирм и институтов. Однако некоторых заказчиков останавливает так называемая «цена вопроса» при выполнении единичных заказов.

С учетом вышесказанного Русская Ассоциация МЭМС начала в ноябре 2013 года уникальную акцию, которая даст российским заказчикам возможность существенно снизить «стартовые затраты» на организацию и проведение НИОКР по МЭМС.

До конца февраля 2014 года мы принимаем Ваши заказы на изготовление Ваших структур за рубежом на описанных выше мультивафлях. После этого полученная информация от заказчиков будет проработана с нашими европейскими партнерами. По результатам этой работы заказчики смогутбесплатно получить от нас готовые маски и модели их механических элементов МЭМС. Вся подготовительная работа (до изготовления структур) осуществляется бесплатно, с минимумом бюрократических проволочек.

В случае заинтересованности заказчика в продолжении сотрудничества с ним будет заключен договор и осуществлено изготовление шаблонов и прототипов МЭМС в Европе уже на коммерческой основе, на базе мультивафли  одновременно со структурами других заказчиков.

ОСНОВНЫЕ ЭТАПЫ ПРЕДЛАГАЕМОГО ВЗАИМОДЕЙСТВИЯ И ВРЕМЕННОЙ ПЛАН:

1. Вы присылаете нам свою информацию: чертеж, PDF-файл, модель или даже идею того, как это, по вашему мнению, должно работать до 28 февраля 2014 года.

2. Обсуждение с европейскими партнерами возможности реализации Вашей идеи имеющимися техническими средствами (I-II квартал 2014 года).

3. Получение Вами готовых масок, компьютерных моделей изделия (II-III квартал 2014 года).

В этот период мы надеемся на тесное сотрудничество с заказчиком, которое предполагает обсуждение его структур, их особенностей, оптимизация их формы, обсуждение предполагаемых характеристик. Всё это происходит на бесплатной основе. Если все стороны приходят к согласию, и накапливается достаточное число заказов, то проект переходит на следующую стадию.

4. Заключение договоров между заказчиком и РАМЭМС на изготовление шаблонов и прототипов МЭМС (август - сентябрь 2014 года).

5. Получение от заказчика оплаты по проекту и техническая реализация заказов (до конца 2014 года).

После этого структуры будут проверены на работоспособность (измерены электрические характеристики или собственные частоты), мультивафля будет порезана на отдельные чипы, которые будут разосланы заказчикам (до 26 декабря 2014 года).

По результатам первой итерации возможна дальнейшая оптимизация характеристик МЭМС на следующих этапах проекта.

В случае Вашей заинтересованности в данном предложении предлагаем Вам заполнить заявку на участие и прислать до 28 февраля 2014 г. по адресу: info@mems-russia.ru, которую Вы можете скачать здесь. К заявке также необходимо приложить основную информацию по вашим МЭМС: чертеж, PDF-файл, модель и краткое описание.

ЧАСТО ЗАДАВАЕМЫЕ ВОПРОСЫ И ОТВЕТЫ НА НИХ:

В.: Кому адресован этот проект?

О.: Компаниям, имеющим оригинальные идеи в области микросистемной техники и желающим их реализовать. Фирмам, «осваивающим» бюджет по микро- и наносистемной технике, но не имеющим «под боком» готовой, отлаженной производственной линейки с опытным персоналом. Государственным предприятиям, получившим финансирование «под нанотехнологию», но до сих пор не имеющим ра-ботоспособных изделий. Учебным заведениям, имеющим в программе курс «микро- и нанотехнологии», но не имеющим ничего, кроме слайдов на эту тему.

В.: Сколько это примерно будет стоить, и что я получу за эти деньги?

О.: За сумму в пределах 8-16 тысяч Евро заказчик на основании договора получит в декабре 2014г. несколько сотен структур, маски, описание процесса изготовления и компьютерные модели, а также бесценный опыт работы с РАМЭМС и зарубежными партнерами по изготовлению реальных структур.

В.: Восемь или даже шестнадцать тысяч Евро за готовое изделие при сроках на НИОКР в 2-3 месяца с праздниками посередине - это очень и очень мало. Неужели Вы так уверены, что можно изготовить настоящую МЭМС, пригодную для продажи, за такую маленькую сумму и за такой короткий срок? 

О.: Вы совершенно правы. Процесс создания МЭМС для рынка включает в себя несколько стадий проектирования, отработку технологии, разработку соответствующей электроники и корпусирования, занимает годы по времени и стоит сотни тысяч Евро. Мы предлагаем только начать этот процесс и за небольшую сумму и относительно короткий срок прийти к реальным результатам без сложных финансовых и бюрократических проблем. Если Вы будете удовлетворены результатами к концу первого года, мы можем обсудить возможность дальнейшего сотрудничества по оптимизации и усовершенствованию ваших структур, изготовлению элек-троники и корпусированию.

В.: Как быть с защитой моей интеллектуальной собственности, моих идей?

О.: Все Ваши идеи останутся Вашими. Ни РАМЭМС, ни европейские партнёры не претендуют на идеи, касающиеся формы и принципа действия Ваших МЭМС. Другие заказчики не увидят ваши структуры, они будут на одной вафле только в процессе изготовления. В случае необходимости возможно обсуждение подписания «Соглашения о конфиденциальности» c РАМЭМС.

В.: Что я могу предложить за такое короткое время, 28 февраля уже совсем скоро?

О.: Вы можете предложить нам изготовить какие-то Ваши тестовые структуры, которые будут использованы как образцы для проверки оборудования заказчика. Можно изготовить датчики ускорения, микрозеркала и актюаторы электростатического и термоэлектрического типа.

В.: А какие гарантии, что всё останется в указанных ценовых и временных рамках? 

О.: До момента подписания договора об изготовлении структур РАМЭМС не даёт никаких гарантий на конечную реализацию проекта, но и не требует с заказчика никаких денег. Обе стороны работаютбесплатно с максимальным сокращением бюрократических проволочек, связанных с финансами.

В случае взаимной заинтересованности сторон в дальнейшем сотрудничестве можно будет подписать договор об изготовлении структур на коммерческой основе. В указанном договоре будут все необходимые пункты, предполагающие гарантии и ответственность обеих сторон.

В.: Я начну с Вами работать, а мне не понравится. Вы потом будете требовать с меня деньги? 

О.: До момента подписания договора об изготовлении структур все работы проводятся бесплатно. До подписания договора Вы можете прервать проект в любой момент, если решите, что из этого ничего не выйдет.

В.: Вот я заплачу деньги, а потом моя структура не будет работать. Все будут, а моя – нет. Что тогда? 

О.: Если по какой-то причине, связанной с исполнителем (сбой в тех. процессе, например), Ваши структуры не будут функционировать так, как это предполагали заказчик и исполнитель, то все дальнейшие действия сторон будут регулироваться положениями договора (возврат денежных средств и т.д.).

В.: Какие ограничения на тех. процесс? 

О.: Структуры будут изготавливаться из кристаллического кремния по технологии плазмохимического травления на подложках из кремния или стекла. Толщина ак-тивного слоя 50-75 мкм, минимальный зазор 2 мкм, максимальный размер структуры 10 ×10 мм2. Контакты – алюминий. Остальные технические детали можно обсудить после подачи заявки.