МЭМС – гироскоп 499 °/с производится по технологии глубокого реактивного травления. Данная технология позволяет производить структуры с высоким соотношением ширины и глубины. Датчики, изготовленные на базе данной технология, обладают высокой точностью и линейностью производимых измерений.
МЭМС – гироскопы обладают высоким потенциалом и находят свое применение в следующих областях:
- промышленная электроника
- гражданская авиация
- космос
- автомобилестроение
- судостроение
- нефтегазовое оборудование
- медицина
- железнодорожный транспорт
- медицина
- энергетика
| Параметр | Значение |
| Диапазон преобразования | ± 499 °/с |
| Нелинейность масштабного коэффициента | < 500* ppm *без коррекции |
| Полоса пропускания | 120 Гц |
| Пороговая чувствительность | < 50 °/ч |
| Диапазон рабочих температур | -40…+85 °C |
| Ударопрочность | 50 g |
| Нестабильность нуля | < 10 °/ч |
| Случайное угловое блуждание | < 1°/√ч |
| Напряжение питания | 5 В |
